參考信息

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高純氣體應用領(lǐng)域極廣,，無論是藥物分析實驗室亦或是硅芯片制造廠，都需要使用高質(zhì)量高純度氣體,。如在半導體工業(yè),，高純氮，氫,，氬,，氦可作為載氣，保護氣和配制混合氣的氣體來源,。

Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法,，檢測限可達ppb級（<50ppb），既可用于檢測常見的He,、H2,，Ar，N2,，CO2中的微量雜質(zhì),，還可分析特種氣體如HCL，SiH4,，BCL3,，N2O,CF4等。根據(jù)不同應用要求,，實現(xiàn)客戶化定制,。

產(chǎn)品特點
實現(xiàn)多種氣體高靈敏度檢測
氦氣吹掃,，避免與空氣接觸所引起的外界污染
精密防泄露裝置，避免潛在污染
配備高純氣吸氣劑,，去除微量雜質(zhì)
尺寸規(guī)格小,，不占據(jù)實驗室空間

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產(chǎn)品彩頁

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